nators自主开发sem兼容的原子力显微镜系统可提供在sem或fib内进行原位三维形貌扫描和纳米压痕功能。该系统可兼容大部分sem或fib系统，包括桌面型sem。
sem-afm原子力显微镜 产品详情
原子力显微镜
nators自主开发sem兼容的原子力显微镜系统可提供在sem或fib内进行原位三维形貌扫描和纳米压痕功能。该系统可兼容大部分sem或fib系统，包括桌面型sem。
产品特点：
纳米级三维形貌扫描成像分辨率亚纳牛力纳米压痕分辨率结构紧凑、优异的sem/fib兼容性可根据用户具体需求提供定制化解决方案
产品应用：
afm-sem综合成像分析（结合afm功能与sem分析技术，例如edx、ebsd）纳米材料力学分析
规格参数
概述
技术参数
样品运动行程
10 mm
样品定位分辨率
100 nm
扫描行程
5 um
扫描器运动分辨率
0.1 nm
力感应范围
+/- 100 un
力感应分辨率
0.5 nn